研究業績

主な招待講演(30件)

  1. 柳谷隆彦,木内正人「イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス」第21回秋季シンポジウム(日本セラミックス協会)
  2. 柳谷隆彦、「圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振、~抗原抗体反応センサ、導電率センサへの応用~」スマート・アクチュエータ/センサ委員会
  3. 柳谷隆彦、「希土類-III-IV族系巨大圧電性薄膜やPZT単結晶薄膜の相境界の実験的研究」関西・中部誘電体セミナー
  4. 柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章「平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス」マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会
  5. 鈴木雅視、柳谷隆彦、講演奨励賞受賞記念講演「イオンビーム照射製膜によるAlN薄膜の極性・配向制御及び極性反転層構造の形成」2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
  6. Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki, “Polarization Control of ScAlN and ZnO films: Application to polarization Inverted Multilayer,” 2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
  7. K.Wasa, H.Hanzawa, S.Yoshida, T.yanagitani, and S.Tanaka, “High Performance Piezoelectric Thin Films Beyond PZT,” 2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
  8. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦、講演奨励賞受賞記念講演「極性反転構造のZnO及びScAlN圧電薄膜の形成と弾性波デバイス応用」第63回応用物理学会学術講演会
  9. 柳谷隆彦、「超音波顕微鏡プローブ用の新しい圧電薄膜材料」第8回バイオ超音波顕微鏡研究会
  10. Takahiko Yanagitani、“Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure,” 13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
  11. T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa、「Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method」12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
  12. 柳谷隆彦、唐澤嶺 「分極反転圧電薄膜の成長と応用~レクテナ昇回路へ検討~」 第46回EMシンポジウム
  13. 柳谷隆彦、唐澤嶺 「分極反転圧電薄膜材料の進展と超音波デバイス応用」 2017年秋季日本音響学会研究発表会
  14. 柳谷隆彦 「最新のBAW デバイス材料の研究と応用」 マイクロナノ先端技術交流会
  15. 柳谷隆彦 「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」 第65回応用物理学会学術講演会
  16. 柳谷隆彦「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」 第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
  17. 柳谷隆彦「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」 アルバックシンポジウム
  18. 柳谷隆彦「New BAW filter materials for 5G smart phone」LG chem Tech Scouting Japan
  19. 柳谷隆彦「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」第168回電子セラミック・プロセス研究会
  20. 柳谷隆彦「12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics「A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate」
  21. 柳谷隆彦「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」第79回応用物理学会秋季学術講演会
  22. 清水貴博、柳谷隆彦、講演奨励賞受賞記念講演「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」第79回応用物理学会秋季学術講演会
  23. 柳谷隆彦「5G以降に必要なスマートフォン向けフィルタ(BAWフィルタ)の薄膜材料」BC(Beyond CMOS/ERM(Emerging Research Materials)合同委員会
  24. T. Yanagitani, “ScAlN polarization inverted resonators and enhancement of kt2 in new YbAlN materials for BAW devices, ” 2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  25. 柳谷隆彦「5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料」粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
  26. 柳谷隆彦「ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ」圧電MEMS研究会第20回研究会
  27. T. Yanagitani, “ Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications, ” The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  28. 柳谷隆彦、「超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料」超音波計測に関する萌芽技術研究会
  29. 木下紗里那、柳谷隆彦、講演奨励賞受賞記念講演「レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス」第67回応用物理学会春季学術講演会
  30. T. Yanagitani, “Enhancement of electromechanical coupling kt2 in rare earth doped AlN films for bulk acoustic wave filter applications,” ICoSEM2019

学術論文(英文、査読付)

  1. T. Shimidzu and T. Yanagitani, "Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks,"
    J. Appl. Phys. vol. 126, pp. 114104 (2019).
  2. T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani, "Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field,"
    Appl. Phys. Lett., vol. 114, no. 21, pp. 212902, (2019).
  3. K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ̶80 MHz,”
    IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol. 65, no. 11, pp. 2097 - 2102, (2018).
  4. M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”
    IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol.65, no.10, pp.1882-1887, (2018).
  5. S. Mori, T. Makino, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Ultrasonically induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone,”
    AIP Advances, pp. 045007, (2018).
  6. H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani and Y. Cho, “Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”
    Jpn. J. Appl. Phys. vol. 56, 10PF18 (2017).
  7. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H.Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, and M. Matsukawa, “Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering,”
    J. Appl. Phys. vol. 121, 235102 (2017)
  8. S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation,”
    Appl. Phys. Lett. vol. 110, pp.143701 (2017).
  9. H.Ichihashi,T. Yanagitani M.Suzuki,S.Takayanagi,M.kawabe,S.Tomita and M.Matsukawa “Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”
    IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol.63,no.5 pp.717-725, (2016).
  10. H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani and Y. Cho, “Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy ”
    Ferroelectrics, vol. 498, pp. 47-51 (2016).
  11. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani and T. Yamamoto “High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films,”
    J. Appl. Phys. vol. 117, pp. 124106, (2015).
  12. H Tsuneda, S Matsukawa, S Takayanagi, K Mizuno, T Yanagitani, M Matsukawa, “Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”
    Appl. Phys. Lett. vol. 106, no. 7, pp.073704 (2015).
  13. H. Ichihashi T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe and M. Matsukawa “Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect,”
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 61, pp. 1307-1313, (2015) (Invited).
  14. T Yanagitani, and M Suzuki, “Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,”
    Appl. Phys. Lett. vol.105, pp. 122907, (2014)
  15. M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa, “Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators”
    Appl. Phys. Lett., 104, pp. 172905-1-172905-4 (2014).
  16. T. Yanagitani, and M. Suzuki, “Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary,” 
    Appl. Phys. Lett., vol. 104 no. 23, pp. 082911-1-082911-4 (2014).
  17. M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the megahertz range,” 
    Appl. Phys. Lett., vol. 103 no. 10, pp. 103701-1-103701-4 (2013)
  18. T. Yanagitani, and M. Suzuki, “Significant shear mode softening in c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect,”
    Scripta mater. vol. 69, pp. 724-727, (2013).
  19. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction,” 
    J. Phys. D: Appl. Phys., vol. 46, pp. 315305-1-315305-5, (2013).
  20. H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa “High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,” 
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. (Letter), vol. 60, no. 5 pp. 873-876, (2013).
  21. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target,”
    J. Cryst. Growth, vol. 363, pp. 22-24, (2013).
  22. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition,”
    Appl. Phys. Lett., vol. 101 no. 23, pp. 232902-1-232902-3 (2012).
  23. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer, “
    Jpn. J. Appl. Phys. vol. 51, no. 7 pp. 07GC08 (2012).
  24. Nakatsuji, K. Yamamoto, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and Y. Matsuyama, “Three-Dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone: Effects of hydroxyapatite crystallites orientation and microstructure,” 
    Jpn. J. Appl. Phys. vol. 50, pp. 07HF18-1-07HF18-6 (2011).
  25. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yaoi, Yu. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa and Y. Matsuyama, “Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatitecrystallite orientation in bovine cortical bone,” 
    Ultrasonics, vol. 52, pp. 377-386 (2011).
  26. T. Yanagitani and M. Kiuchi, “Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation,“ 
    Surf. Coat. Technol., vol. 206, pp.816-819 (2011).
  27. T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, “c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes,” 
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 58, pp. 1062-1068 (2011).
  28. T. Yoshida, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering,” 
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 58, pp. 1255-1260 (2011).
  29. T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa, 
    “A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method,” 
    J. Appl. Phys., vol. 108, pp. 024910-1-024910-4, (2010).
  30. T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, Y. Mori, S. Sasaki and M. Oba, 
    “Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering,”
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 49, pp. 07HD16-1-07HD16-4, (2010).
  31. Y. Yaoi, K. Yamamoto, Y. Yamato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, 
    “Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone,” 
    Acoust. Sci. & Tech., vol. 30, no. 4, pp. 306-309 (2009).
  32. Y. Yaoi, K. Yamamoto, T. Nakatsuji, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, “Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone,” 
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 48, pp. 07GK06-1-07GK06-4 (2009).
  33. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
    “Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic wave in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures,” 
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 55, pp. 2709-2713 (2008).
  34. *K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, “Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone,” 
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 47, pp. 4096-4100 (2008).
  35. *Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, and A. Nagano,
    “Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur,”
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 55, no. 6, pp.1298-1303 (2008).
  36. Y. Yamato, M. Matsukawa, K. Yamazaki, H. Mizukawa, T. Yanagitani, and A. Nagano, 
    “Effect of hydroxyapatite crystallites orientation on ultrasonic wave velocities in bovine cortical bone,” 
    Calcif. Tissue. Int., vol. 82, no. 2, pp. 162-169, (2008).
  37. T. Yanagitani and M. Kiuchi,
    “Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: application to acoustic shear wave excitation in the GHz range,”
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 47, pp. L1167-L1169, (2007).
  38. T. Yanagitani and M. Kiuchi, 
    “Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation,” 
    J. Appl. Phys., vol. 102, no. 4, pp. 044115-1-044115-7, (2007).
  39. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
    “Shear-mode electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO films,”
    J. Appl. Phys., vol. 102, no. 2, pp. 024110-1-024110-7, (2007).
  40. T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
    “Effects of sputtering gas conditions on formation of (11-20) textured ZnO films,”
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 7B, pp. 4660-4664, (2007).
  41. S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani, and N. Ohtori, 
    “Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering,”
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 7B, pp. 4626-4628, (2007).
  42. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
    “Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 54, no. 8, pp.1680-1686, (2007).
  43. T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
    “Electromechanical coupling coefficient k15 of polycrystalline ZnO films with the c-axes lie in the substrate plane,
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., (Letter) vol. 54, no. 4, pp.701-704, (2007).
  44. T. Nohara, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
    “Conversion characteristics of the shear wave transducer made of unidirectionally aligned ZnO film in plane,”
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 45, pp.4201-4203 (2006).
  45. Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
    “Effect of sputtering geometry on the (11-20) textured ZnO piezofilm,”
    Acoust. Sci. & Tech., vol. 27, no. 1 pp. 53-55. (2006).
  46. T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
    “Characteristics of (10-10) and (11-20) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges,”
    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 52, no. 11, pp. 2140-2145, (2005).
  47. T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
    “Formation of uniaxially (11-20) textured ZnO film on glass substrates,”
    J. Cryst. Growth, vol. 276, pp. 424-430, (2005).
  48. T. Yanagitani, S. Tomohiro, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
    “Characterizations of (11-20) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering,” 
    Jpn. J. Appl. Phys., vol. 43, no. 5B, pp. 3004-3007, (2004).

国際会議論文

  1. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  2. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  3. T. Soutome and T. Yanagitani, “A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  4. T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani, “Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  5. R. Kihara and T. Yanagitani, “Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  6. C. Masamune and T. Yanagitani, “Ion beam induced A-Axis in-plane oriented C-Axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2019)
  7. R. Karasawa and T. Yanagitani, “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  8. T. Shimidzu and T. Yanagitani,“DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  9. M. Totsuka and T. Yanagitani, “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  10. Y. Yamakawa and T. Yanagitani, “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  11. H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani, “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  12. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, and T. Yanagitani, “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  13. Y. Mazuda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  14. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  15. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  16. R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, and T. Yanagitani “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  17. S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  18. H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani, “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.(2018)
  19. R. Karasawa, and T. Yanagitani, “C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  20. Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  21. K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  22. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  23. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  24. T. Shimidzu, T. Yanagitani, K. Wasa, “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2017).
  25. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2016).
  26. M. Kawabe, Y. Shibagaki, M. Matsukawa, T. Yanagitani, M. Suzuki, S .Takayanagi, “Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2016).
  27. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2015).
  28. M. Kawabe, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1-4, (2015).
  29. S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, and M. Matsukawa, “Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp.765–768, (2014).
  30. H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Matsukawa, “Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 2521–2524, (2014).
  31. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, and T. Yamamoto, “High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,”
    Proc. IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1–4, (2014).
  32. T. Yanagitani, K. Katada, M, Suzuki, K. Wasa, “High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 oC,”
    Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. pp. 121-123, (2014).
  33. K. Katada, T. Yanagitani, M, Suzuki, K. Wasa, “Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film,” 
    Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. pp. 119-120, (2014).
  34. K. Wasa, T. Matsushima1, H. Adachi, T. Matsunaga, M. Suzuki, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshida, S. Tanaka, and S. Trolier-McKinstry, “PZT-based high coupling with low permittivity thin films,”
    Proc. 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symp., pp. 69-72, (2013).
  35. M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa, “Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode,”
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1922-1924, (2012).
  36. T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, “Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 2187-2190, (2012).
  37. M. Suzuki, and T. Yanagitani “c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1230-1233 (2011).
  38. M. Suzuki, and T. Yanagitani, “Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 312-315 (2011).
  39. Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe “c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 810-813 (2011).
  40. T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, “Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1099-1102 (2011).
  41. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, “Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 2317-2320 (2011).
  42. T. Yanagitani, K. Arakawa, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama,, “Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 2095-2098, (2010).
  43. M Suzuki, and T. Yanagitani, “Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1478-1481, (2010).
  44. K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, and M. Akiyama, “Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1050-1053, (2010).
  45. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe, “A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1060-1063, (2010).
  46. T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa, “Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.pp. 1074-1077 (2009).
  47. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe, “Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 2162-2165 (2009).
  48. T. Yanagitani and M. Kiuchi, “Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 90-93 (2008).
  49. T. Yanagitani, Y. Yoshida,and M. Matsukawa, “Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 1487-1490 (2008).
  50. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe, Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,” 
    Acoustics 08 Paris, pp. 4987-4992, J. Acoust. Soc. Am. 123, 3647 (2008)
  51. T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe, “Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007., pp. 1874-1877, (2007).
  52. T. Yanagitani, M. Kiuchi, “Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1413-1416, (2007).
  53. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, “Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007., pp. 1229-1232, (2007)
  54. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, “Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO layer/silica glass substrate structures,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 280-283, (2007).
  55. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, “Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1463-1466, (2006)
  56. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, “Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (11-20) textured ZnO films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp.., pp. 1459-1462, (2006).
  57. T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, “Electromechanical coupling coefficient k15 of (11-20) textured ZnO films,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1824-1827, (2005).
  58. T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, “Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film,” 
    Proc. IEEE Ultrason. Symp. pp. 906-909, (2004).

解説記事

  • 柳谷隆彦
    「ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~」
    真空ジャーナル 2019年9月号 No. 170, pp. 11-15.
  • 高柳真司、柳谷隆彦
    「スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 30, pp. - (2018).
  • 森 剛志、柳谷 隆彦
    「Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 29, pp. 84-87, (2017).
  • 柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳 真司
    「非破壊検査用の高分解能超音波プローブ」
    日本音響学会誌 vol. 71, no. 5, pp. 230-238 (2015)
  • 鈴木雅視、柳谷隆彦
    「c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 24, pp. 78-82 (2012).
  • 柳谷隆彦,
    「超高周波、高Q値、高圧電性、高キュリー温度の両立に向けて」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 23, pp. 40-44 (2011).
  • 高柳 真司、松川真美、渡辺好章、柳谷隆彦
    「RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 23, pp. 59-62 (2011).
  • 守里直希、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 22, pp. 60-65 (2010).
  • 柳谷隆彦、木内正人、松川真美
    「(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 22, 1・2月号 pp. 46-49 (2010). 
  • 柳谷隆彦、吉田泰祐、佐野 広幸、松川真美
    「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討」
    超音波テクノ(日本工業出版) vol. 21, 9・10月号 pp. 35-38 (2009).
  • 柳谷隆彦,木内正人
    「イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討」
    超音波テクノ(日本工業出版)vol. 20, 1・2月号 pp. 67-70 (2008).
  • 松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    「c軸傾斜配向ZnO膜の開発~高い横波変換効率の実現~」
    超音波テクノ(日本工業出版)vol. 20, 1・2月号 pp. 75-78 (2008).
  • 田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    「面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性」
    超音波テクノ(日本工業出版)vol. 19, 11・12月号 (2007)

主な知的財産権

特許(出願23件 特許取得8件)

  • 柳谷隆彦,渡辺好章,「薄膜製造方法」,特許第3561745号
  • 渡辺好章,柳谷隆彦,「薄膜製造方法」,特許第3932458号
  • 柳谷隆彦,渡辺好章,松川真美,松尾卓也,「超音波トランスデューサ」,特許第4780500号
  • 渡辺好章,柳谷隆彦,「高次モード薄膜共振器」,特許第4784815号
  • 渡辺好章,柳谷隆彦,「薄膜共振器」,特許第4849445号
  • 柳谷隆彦,木内正人,「薄膜製造方法」,特許第5007973号
  • 西尾英俊,森嘉一,鶴亀宜崇,渡辺好章,柳谷隆彦,川本貴之
    「薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜」,特許第5217051号
  • 柳谷隆彦,鈴木雅視,渡辺好章,「薄膜共振子」,特許第5747318号
  • 渡辺好章,柳谷隆彦,「薄膜共振器」,特開2007-036914
  • 木内正人,柳谷隆彦,「薄膜製造方法」特開2008-147214
  • 柳谷隆彦,守里直希,松川真美,渡辺好章,「薄膜共振子」,特開2010-178543
  • Y. Watanabe, T. Yanagitani, “Thin film producing method,” 
    United States Patent, No. US 7951272 B2.
  • H. Nishio, Y. Mori; Y. Tsurukame, T. Kawamoto; Y. Watanabe, T. Yanagitani
    “Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby”
    United States Patent Application Pubrication, No. US20100133091A1
  • 柳谷隆彦,高柳真司,松川真美,渡辺好章,「薄膜製造方法及び装置」,特開2011-157584
  • 柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章,「ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子」,特開2012-116736
  • 藤澤隆志、川本貴之,森嘉一,渡辺好章,柳谷隆彦,「薄膜の配向制御方法及び薄膜製造方法」,特開2013-256705
  • 高羅友輔、柳谷隆彦,「超音波探触子及び超音波探傷システム」,特開2016-036071
  • 高羅友輔、柳谷隆彦,「超音波探触子及び超音波探傷システム」,特開2016-145732
  • 大野茂、住川健太、高橋卓也、柳谷隆彦,「超音波探触子および超音波検査装置」,特開2017-17458
  • S. Oono、K. Sumikawa、T. Takahashi、T. Yanagitani,「Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus」,United States Patent Application Pubrication, US-A1-180188214
  • S. Oono、K. Sumikawa、T. Takahashi、T. Yanagitani,「Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus」,CN Application, CN107710786A
  • 柳谷隆彦,「圧電素子及び圧電変換装置」,特開2017-224969
  • 柳谷隆彦,唐澤嶺,「トランス及び該トランスを用いたレクテナ」,特開2018-190800

電子情報通信学会技術研究報告

  1. 天野凌輔,山川愉生,柳谷隆彦 「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 119, no. 152, US2019-31, pp. 19-23, (2019).
  2. 宮田昌哉,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦 「ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 119, no. 152, US2019-34, pp. 33-37, (2019).
  3. 篁佑太,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦 「石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 118, no. 277, US2018-68, pp. 25-30, (2018).
  4. 唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 37-42 (2018).
  5. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 13-18 (2018).
  6. 戸塚誠、柳谷隆彦 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ~ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ~」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 19-24 (2018).
  7. 山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018).
  8. 矢崎花、五月女巧、唐澤 嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018).
  9. 唐澤嶺、柳谷隆彦、「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018).
  10. 清水貴博、柳谷隆彦、「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018).
  11. 山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦、「ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, (2017).
  12. 川部昌彦、柳谷隆彦、柴垣慶明、高柳真司、鈴木雅視、松川真美、「コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-44, pp. 71-74, (2017).
  13. 佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦、「電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 14, US2017-12, pp.59-63, (2017).
  14. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦、「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US2016-1, pp.1-6, (2016).
  15. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦、「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US3026-1, pp.7-12, (2016).
  16. 寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄,「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.23-26, (2015).
  17. 趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.27-30, (2015).
  18. 柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美,「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.37-42, (2015).
  19. 岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美,「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.31-35, (2015).
  20. 日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.19-24, (2015).
  21. 高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen,Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod,「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.25-30, (2015).
  22. 富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 102, pp.23-28, (2015).
  23. 片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝、「PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 263, pp. 29-34, (2014).
  24. 常田裕子、松川沙弥果、眞野功、水野勝紀、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「超音波により励起される骨中電位の極性について」電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 229, pp. 19-22, (2014).
  25. 生駒遼、柳谷隆彦、高柳真司、鈴木雅視、小田川裕之、松川真美、「RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製」電子情報通信学会技術研究報告vol. 112, no. 213, pp. 21-25, (2012).
  26. 中東佑太、柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章「c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数」電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 23-26 (2011).
  27. 鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦,「IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 43-48 (2011).
  28. 杉本剛士、佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司、「ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定」電子情報通信学会技術研究報告 vol. 111, no. 158, pp. 15-19, (2011).
  29. 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章「RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響~」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 75-80, (2010).
  30. 佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 99-103, (2010).
  31. 中辻知宏、山本和史、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、山崎薫「ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 63-68, (2010).
  32. 柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人「c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性」電子情報通信学会技術研究報告 vol. 110, no. 213, pp. 81-86, (2010).
  33. 川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利、「直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 65-70, (2009)
  34. 柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美、「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 59-64, (2009)
  35. 守里直希,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章、「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 53-58 (2009)
  36. 中辻知宏,矢追佑一郎,松川真美,山本和史,山崎薫,柳谷隆彦、「ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ~ ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 ~、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, pp. 25-29, (2009)
  37. 田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章、「(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 233, pp. 31-36, (2007)
  38. 矢追佑一郎,水川裕文,松川真美,柳谷隆彦,山本和史,大和雄,山崎薫,長野昭、「牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響」電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 96, pp. 33-36, (2007)
  39. 村田茂雄,川本貴之,松川真美,柳谷隆彦、「ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 295, pp. 27-30, (2006)
  40. 松尾卓也,田中厚志,松川真美,渡辺好章,柳谷隆彦、「c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 250, pp. 19-24, (2006)
  41. 松川真美,水川裕文,柳谷隆彦,大和雄,山崎薫,長野昭、「牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について」電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 346, pp. 15-18, (2005)
  42. 三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章、「面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 312, pp. 7-12, (2005)
  43. 野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦、「RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 104, no. 468, pp. 43-48, (2004)
  44. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦、「横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発」電子情報通信学会技術研究報告vol. 103, no. 340, pp. 31-36, (2003)

主な国際会議発表(150件以上、登壇18件)

    【2019年発表】

  1. Y. Mazda and T. Yanagitani, “Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates,”
    The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  2. R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani, “ Improvement of crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target,”
    The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  3. T. Sotome and T. Yanagitani, “ Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt2 estimation without removing substrate,”
    The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  4. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna,”
    The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  5. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  6. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  7. T. Soutome and T. Yanagitani, “A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  8. T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani, “Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  9. R. Kihara and T. Yanagitani, “Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  10. C. Masamune and T. Yanagitani, “Ion beam induced A-Axis in-plane oriented C-Axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application,”
    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
  11. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate,” International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
  12. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna,”
    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
  13. Y. Mazda and T. Yanagitani, “PZT family epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
    ICoSEM2019
  14. C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani, “ScAlN free–standing 0.1 mm piezoelectric plates in the 30–50 MHz resonance frequency,”
    ICoSEM2019

    【2018年発表】

  15. R. Karasawa and T. Yanagitani, “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  16. T. Shimidzu and T. Ynagitani, “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  17. M. Totsuka and T. Yanagitani, “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  18. Y. Yamakawa and T. Yanagitani, “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  19. H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani, “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  20. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, and K. Morisaka, “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  21. Y. Mazuda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  22. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  23. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  24. R. Noda, T. Shimidzu, and K. Wasa, “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  25. S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  26. H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani, “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
    2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
  27. Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”
    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
  28. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”
    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
  29. M. Totsuka and T. Yanagitani, “Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”
    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
  30. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, and T. Yanagitani, “Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”
    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
  31. T. Yanagitani, “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
  32. R. Noda and T. Yanagitani, “Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”
    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
  33. T. Shimidzu and T. Yanagitani, “Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”
    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
  34. Y. Mazda and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz,”
    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
  35. 【2017年発表】

  36. R.Noda, T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani, “Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator,”
    IUMRS-ICA2017
  37. T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani, “DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,”
    IUMRS-ICA2017
  38. R. Karasawa, and T. Yanagitani, “C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  39. Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  40. K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  41. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  42. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  43. S. Takayanagi, and T. Yanagitani “Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film ,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  44. Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Chizu Ishida, and T. Yanagitani, “Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor,”
    2017 IEEE International Ultrason. Symp.
  45. K.-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    "Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz"
    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
  46. Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    "Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate"
    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
  47. T. Shimizu; T.Mori, M. Suzuki; T. Yanagitani, and K. Wasa
    "Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"
    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
  48. Y. Yamakawa, R. Karasawa; T. Mori; K. Sano; M. Suzuki and T. Yanagitani
    "Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films"
    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
  49. K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    "High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz"
    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
  50. T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa、
    "Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method"
    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
  51. 【2016年発表】

  52. S.Takayanagi, S.Hirayama, M.Matsukawa, T.Yanagitani
    Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe"
    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
  53. Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, K. Mori, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    "Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon"
    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
  54. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    P3-B2-1 "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp,
  55. T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    P3-B2-7 "Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O3and PbTiO3epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  56. T. Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani
    6H-1 "The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3epitaxial multilayer"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  57. R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
    6H-2 "Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  58. S. Takayanagi1, M.Matsukawa, T. Yanagitani
    6H-3 "Effects of energeticnegative ions generatedfrom sputtering targets onScAlN film growth" 2016 IEEE International Ultrason. Symp
  59. K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    6H-4 Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  60. M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
    6K-1 "Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  61. S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa1
    4K-2 "Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  62. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
    P5-C2-4 "Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal"
    2016 IEEE International Ultrason. Symp
  63. Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano,Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
    "c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement"
    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
  64. Ko-hei Sano, Takeshi Mori, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani
    "Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate"
    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
  65. Takahiko Yanagitani, Takeshi Mori1,2, and Kiyotaka Wasa
    "Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure"
    13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
  66. Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, and Kiyotaka Wasa
    "Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range"
    13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
  67. 【2015年発表】

  68. PA-2 Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
    “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  69. PA-3 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki,
    “High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  70. P4A1-5 Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    “Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate “
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  71. 6D-2 Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
    “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  72. 7D-3 Mineki Oka, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    “c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  73. 6G-3 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
    “High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/Opolar (000-1) ZnO film resonator”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  74. 6G-4 Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    “Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  75. 6G-5 Masashi Suzuki, and Takahiko Yanagitani 
    “Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  76. P1C6-10 Sayaka Matsukawa, Hiroko Tsuneda, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    “Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  77. P3C1-1 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki 
    “c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  78. P3C1-2 Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering“
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  79. P3C1-3 Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa 
    “Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  80. P2C2-2 Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
    “ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range”
    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
  81. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, and T. Yamamoto,
    “High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,” 
    IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1–4, (2014).
  82. “Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film”
    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi and M. Matsukawa,
    2015 International Congress of Ultrasonics 
  83. 【2014年発表】

  84. S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa
    Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  85. T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa
    Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  86. M. Suzuki, and T. Yanagitani,
    RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  87. H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi1, M. Matsukawa
    Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  88. C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  89. H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  90. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2014年09月03日
  91. H. Odagawa, T. Yanagitani, Y. Cho
    Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
    European Conference on Application of Polar Dielectrics 2014
    2014年07月07日
  92. K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K . Wasa
    Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film
    IEEE International Frequency Control Symposium
    2014年05月19日
  93. T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K . Wasa
    High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC
    IEEE International Frequency Control Symposium
    2014年05月19日
  94. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshina, and S. Tanaka 
    High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films
    2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM
    2014年05月12日 
  95. 【2013年発表】

  96. K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe
    Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日
  97. T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa
    Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
    2013年07月21日
  98. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry
    PZT-based high coupling with low permittivity thin films 
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
    2013年07月21日
  99. M. Suzuki, T. Yanagitani
    Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日
  100. M. Suzuki, T. Yanagitani
    Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日 j
  101. R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi1, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa
    Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日
  102. H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
    2013年07月21日
  103. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering 
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日
  104. Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    2013年07月21日
  105. H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation
    European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013 
    2013年05月00日
  106. Masashi Suzuki, Yanagitani Takahiko, Hiroyuki Odagawa
    Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation
    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 
  107. 2013年01月28日 

    【2012年発表】

  108. Ryo Ikoma, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Hiroyuki Odagawa,Mami Matsukawa
    Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  109. High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range
    Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  110. Takeshi Sugimoto, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  111. Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Nobuhiro Suganuma
    Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  112. Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani,Hiroyuki Odagawa
    IEEE International Ultrason. Symp
    Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode 
    2012年10月07日
  113. Yoshiya Kato, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa, Mamoru Sawasaki,Takayuki Kawamoto, Yoshikazu Mori,Shinji Takayanagi, Syo Sasaki, Masatoshi Oba, Yoshiaki Watanabe
    Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  114. Masahiro Okino, Katsunori Mizuno, Shinji Takayanagi, Daisuke Suga, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    IEEE International Ultrason. Symp
    Bone ultrasound transducer in the MHz range 
    2012年10月07日
  115. Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
    IEEE International Ultrason. Symp
    2012年10月07日
  116. 【2011年発表】

  117. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  118. M. Suzuki, and T. Yanagitani
    Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  119. M. Suzuki, and T. Yanagitani 
    c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  120. T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  121. K. Imamura, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  122. Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid
    IEEE International Ultrason. Symp
    2011年10月18日
  123. 【2010年発表】

  124. T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito,
    Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  125. T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
    Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  126. K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama
    Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  127. M Suzuki, and T. Yanagitani
    Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  128. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama
    Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  129. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2010年10月11日
  130. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
    Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone
    The third international conference on the development of Biomedical Engineering 
    2010年01月00日 
  131. 【2009年発表】

  132. Kazufumi YAMAMOTO, Tomohiro NAKATSUJI, Yuichiro YAOI, Yu YAMATO, Takahiko YANAGITANI, Mami MATSUKAWA, and Kaoru YAMAZAKI
    Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
    3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
    2009年09月18日
  133. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2009年09月00日
  134. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2009年09月00日
  135. Yaoi Y., Yamamoto K., Yanagitani T., Koizumi T., Matsukawa M., Yamazaki K., Nagano A.
    Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
    International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
    2009年01月11日
  136. Yamamoto K., Yaoi Y., Grondin J., Grimal Q., Yamato Y., Yanagitani T., Matsukawa M., Laugier P., Yamazaki K., Nagano A.
    Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone
    International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009 
    2009年01月11日 
  137. 【2008年以前発表】

  138. T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2008年11月00日
  139. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2008年11月00日
  140. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
    Acoustics 08
    2008年07月03日
  141. T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
    Acoustic 08
    2008年07月01日
  142. K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, T. Yanagitani, T. Koizumi, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
    Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone
    Acoustic 08
    2008年07月01日
  143. T. Yanagitani, Y. Yoshida,and M. Matsukawa
    Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2008年04月01日
  144. T. Yanagitani and M. Kiuchi
    Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films
    IEEE International Ultrasonics Symposium
    2008年04月01日 
  145. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures
    IEEE Ultrason. Symp
    2007年04月01日
  146. T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency
    IEEE Ultrason. Symp
    2007年04月01日
  147. T. Yanagitani, M. Kiuchi
    Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range
    IEEE Ultrason. Symp
    2007年04月01日
  148. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
    IEEE Ultrason. Symp
    2007年04月01日
  149. Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamamoto, K. Yamazaki, A. Nagano
    Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone
    International congress on Ultrasonics 
    2007年04月00日 
  150. M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
    Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone
    17th International Bone Densitometry Workshop 
    2006年11月00日
  151. Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone
    4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan 
    2006年11月00日
  152. Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki and A. Nagano
    Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone
    IEEE Ultrason. Symp 
    2006年10月06日
  153. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Electromechanical Coupling Coefficient k15 and Crystallites Alignment of (11 0) Textured 
    IEEE Ultrason. Symp
    2006年10月04日
  154. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured 
    IEEE Ultrason. Symp
    2006年10月04日
  155. K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Yanagitani
    Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films
    IEEE Ultrason. Symp 
    2006年10月04日
  156. M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
    Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone
    The 9th Western Pacific Acoustics Conference
    2006年06月00日
  157. Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, T. Otani, K. Yamazaki, A. Nagano
    The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone
    1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 
    2006年03月00日 
  158. T. Yanagitani , N. Mishima, M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films
    IEEE Ultrason. Symp
    2005年09月20日
  159. Y. Miyamoto, T. Yanagitani , M. Matsukawa and Y. Watanabe
    Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured 
    IEEE Ultrason. Symp
    2005年09月20日 
  160. T. Yanagitani, T. Nohara, M, Matsukawa and T, Otani
    Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film
    IEEE Ultrason. Symp
    2004年08月27日
  161. K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Otani
    Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering
    IEEE Ultrason. Symp
    2004年08月25日

主な国内学会発表(300件以上)

    【2020年発表】

  1. 平澤直人、木下紗里那柳谷隆彦
    「レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  2. 紀本佳苗、高柳真司、柳谷隆彦
    「熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  3. 冨永卓海、高柳 真司、柳谷隆彦
    「低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  4. 賈軍軍、柳谷隆彦
    「第一原理計算によるYbAlNの圧電特性の解明」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  5. 松田友佳、柳谷隆彦
    「PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600ºC以上の高温域における圧電特性」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  6. 正宗千明、柳谷隆彦
    「イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  7. 間島毅、柳谷隆彦
    「圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製」
    第67回応用物理学会 春季学術講演会
  8. 間島毅、柳谷隆彦
    「c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2020
  9. 龍見亮汰、柳谷隆彦
    「基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損kt2評価法の比較」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2020
  10. 【2019年発表】

  11. 松田友佳、柳谷隆彦
    「自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性」
    The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
  12. 正宗千明 、柳谷隆彦
    「イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長」
    The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
  13. 高柳真司、木原流唯、柳谷隆彦
    「スパッタターゲットから飛来する高速負イオンの照射抑制による ScAlN 薄膜の圧電性向上」
    The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
  14. 間島毅、柳谷隆彦
    「c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用」
    粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
  15. 白寧蕊、柳谷隆彦
    「巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析」
    粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
  16. 柳谷隆彦
    「レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス」
    弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
  17. 富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
    「スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会
  18. 天野凌輔、柳谷隆彦
    「CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会
  19. 松田友佳、柳谷隆彦
    「自立構造のスパッタエピタキシャルPbTiO3薄片の共振特性と温度特性」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会
  20. 木原 流唯、柳谷隆彦
    「YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会
  21. 木下紗里那、柳谷隆彦
    「レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会
  22. 天野凌輔、柳谷隆彦
    「Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上」
    2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  23. 木下紗里那、柳谷隆彦
    「レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス」
    「基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法」
    2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  24. 佐藤裕友、柳谷隆彦
    「スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ」
    2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  25. 柳谷隆彦
    「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス」
    同志社大学 超音波応用科学研究センター7月例会
  26. 白寧蕊、木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    「Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上」
    第48回EMシンポジウム
  27. 正宗千明、柳谷隆彦
    「イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長」
    第48回EMシンポジウム
  28. 松田友佳、柳谷隆彦
    「自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性」
    第48回EMシンポジウム
  29. 柳谷隆彦
    「イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用」
    弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
  30. 龍見亮汰、戸塚誠、柳谷隆彦
    「共振周波数比法を用いた基板付き薄膜共振子の電極付きkeff2の抽出」
    電子情報通信学会総合大会
  31. 木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    「Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性」
    電子情報通信学会総合大会
  32. 正宗千明、唐澤 嶺、柳谷隆彦
    「ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子」
    第66回応用物理学会 春季学術講演会
  33. 白寧蕊、唐澤嶺、高柳 真司、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦
    「溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製」
    第66回応用物理学会 春季学術講演会
  34. 野田 隆太、清水 貴博、和佐 清孝、柳谷隆彦
    「RFスパッタ法により作製したPZT系エピタキシャル薄膜のMPB特性」
    第66回応用物理学会 春季学術講演会
  35. 篁 佑太、高柳 真司、柳谷隆彦、松川 真美
    「SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成」
    第66回応用物理学会 春季学術講演会
  36. 和佐清孝、清水貴博、足立秀明、吉田慎哉、柳谷隆彦、田中秀治
    「圧電薄膜デバイスと基板の選択」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2019
  37. 高柳真司、柳谷隆彦
    「スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2019
  38. 天野凌輔、木下紗里那、廣芝伸哉、柳谷隆彦
    「ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2019
  39. 山中恵理、戸塚誠、木下紗里那、柳谷隆彦
    「基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数抽出時における電極サイズの影響」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2019
  40. 戸塚誠、柳谷隆彦
    「基板付き圧電薄膜の高次モード間共振周波数比を用いたFBARの電極考慮keff2抽出」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2019
  41. 【2018年発表】

  42. 間島 毅、清水貴博、柳谷隆彦
    「極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ」
    電子回路研究会
  43. 五月女巧、山川愉生、唐澤 嶺、柳谷隆彦
    「横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価」
    電子回路研究会
  44. 野田隆太、清水貴博、柳谷隆彦
    「常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性」
    電子回路研究会
  45. M. Totsuka and T. Yanagitani, “A new electromechanical coupling coefficient extraction method of as-grown film/wafer structure by using the ratio of overtone mode resonant frequencies,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  46. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi , M. Imakawa , K. Morisaka , Y. Suzuki, and T. Yanagitani, “Negative ions generation of the arc-melted and hot press sintered ScAl alloy targets in ScAlN film growth,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  47. N. Bai, C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “Large electromechanical coupling (kt 2 =22%) in the ScAlN thin films,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  48. T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani, “Polarity inverted PZT/PbTiO3 epitaxial stack resonators for frequency switchable filters,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  49. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN free?standing piezoelectric plates in the range of 30?40 MHz resonance frequency,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  50. Y. Mazda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film for ultrasonic transducer in the 80 MHz range,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  51. H. Yazaki, T. Soutome, R. Karasawa, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani, “c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for detection of biomolecular interactions,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  52. Y. Yamakawa, T. Soutome, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “Evaluation of fluid viscosity in the vicinity of 400 MHz using quasi-shear mode c-axis tilted ScAlN thin film resonators,”
    The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
  53. 唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦
    「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~」
    電子情報通信学会超音波研究会
  54. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦
    「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
    電子情報通信学会超音波研究会
  55. 戸塚誠、柳谷隆彦
    「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ~ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ~」
    電子情報通信学会超音波研究会
  56. 山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦
    「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
    電子情報通信学会超音波研究会
  57. 矢崎花、五月女巧、唐澤 嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦
    「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
    電子情報通信学会超音波研究会
  58. 柳谷隆彦
    「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」
    第168回電子セラミック・プロセス研究会
  59. 柳谷隆彦
    「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会
  60. 清水貴博、柳谷隆彦
    「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会
  61. 清水貴博、柳谷隆彦
    「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会
  62. 柳谷隆彦
    「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」
    アルバックシンポジウム
  63. 間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
    「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」
    第47回EMシンポジウム
  64. 矢崎花、唐澤嶺、吉田憲司、高柳真司、柳谷隆彦
    「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」
    第47回EMシンポジウム
  65. 野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
    「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」
    第47回EMシンポジウム
  66. 戸塚誠、柳谷隆彦
    「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」
    第47回EMシンポジウム
  67. 木下紗里那、戸塚誠、唐澤嶺、柳谷隆彦
    「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」
    第47回EMシンポジウム
  68. 唐澤嶺、遠藤結佳、高柳真司、今川誠、森坂啓介、鈴木雄、柳谷隆彦
    「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」
    第47回EMシンポジウム
  69. 正宗千明、松田友佳、唐澤嶺、清水貴博、柳谷隆彦
    「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」
    第47回EMシンポジウム
  70. 唐澤嶺、柳谷隆彦
    「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
    電子情報通信学会超音波研究会
  71. 清水貴博、柳谷隆彦
    「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
    電子情報通信学会超音波研究会
  72. 柳谷隆彦
    「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  73. 唐澤嶺、柳谷 隆彦
    「低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  74. 山川 愉生、柳谷 隆彦
    「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  75. 山川 愉生、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  76. 清水 貴博、柳谷 隆彦
    「ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性」
    「基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  77. 間島毅、柳谷 隆彦
    「極性反転ZnO圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  78. 戸塚誠、柳谷隆彦
    「基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  79. 正宗 千明、佐野 耕平、柳谷 隆彦
    「90μmScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  80. 松田友佳、清水貴博、柳谷隆彦
    「高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  81. 遠藤 結佳、佐野 耕平、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    「電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長」
    第65回応用物理学会 春季学術講演会
  82. 柳谷隆彦
    「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
    第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
  83. 戸塚誠、柳谷隆彦
    「高次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜共振子からの電気機械結合係数の抽出」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  84. 唐澤嶺、柳谷隆彦
    「c軸ジグザグ配向ScAlN圧電トランス薄膜共振子のレクテナ昇圧回路への応用検討」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  85. 山川愉生、唐澤嶺、柳谷隆彦
    「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  86. 清水貴博、柳谷隆彦
    「周波数スイッチナブルな常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピタキシャル薄膜共振子」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  87. 間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
    「極性反転ウルツ鉱系圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  88. 野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
    「スパッタ法により作製したGHz帯のPb(ZrxTi1-x)O3エピ膜にMPB特性は現れるか?」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  89. 和佐清孝、清水貴博、足立秀明、吉田慎哉、柳谷隆彦、田中秀治
    「PZT薄膜とバルク圧電材料」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  90. 岩永陸弥、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
    「厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  91. 高柳真司、柳谷隆彦
    「スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  92. 徳田翔平、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
    「サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2018
  93. 【2017年発表】

  94. 柳谷隆彦、唐澤嶺、佐野耕平
    EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会
    「高品質ScAlN薄膜の成長条件と圧電特性および音響特性の評価」
  95. K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
    “High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  96. S. Takayanagi, T. Yanagitani
    “Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  97. T. Makino, K. Takano , S. Nakanishi , D. Koyama, S. Takayanagi , T. Yanagitani , M. Matsukawa
    “Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  98. R. Karasawa, T. Yanagitani
    “Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  99. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    “c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  100. Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu ,T. Yanagitani
    “Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  101. Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    “Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  102. K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    “Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  103. T. Shimidzu, K. Wasa , T. Yanagitani
    “PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter”
    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
  104. 柳谷隆彦、唐澤嶺
    「分極反転圧電薄膜の成長と応用~レクテナ昇回路へ検討~」
    第46回EMシンポジウム
  105. 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
    「高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討」
    第46回EMシンポジウム
  106. 山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
    「c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価」
    第46回EMシンポジウム
  107. 清水貴博, 柳谷隆彦, 和佐清孝
    「チューナブルフィルタを目指した PMN 常誘電相エピ膜の電界誘起圧電特性と分極反転特性」
    第46回EMシンポジウム
  108. 森剛志、高柳真司。清水貴博、柳谷隆彦
    「単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子」
    2017年電子情報通信学会総合大会
  109. 柴垣慶明,川部昌彦,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,松川真美
    「ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅」
    日本音響学会2016年秋季研究発表会
  110. 松川沙弥果、牧野大輝、小山大介、高柳真司、水野勝紀、柳谷隆彦、松川真美
    「縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  111. 佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
    「電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  112. 盛一馬、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
    「RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低減に関する検討」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  113. 唐澤嶺、山川愉生、森剛志、矢﨑花、佐野耕平、柳谷隆彦
    「c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  114. 山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、森剛志、柳谷隆彦
    「c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  115. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
    「抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2017
  116. 【2016年発表】

  117. S. Takayanagi, T. Yanagitani
    "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure"
    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
  118. S. Matsukawa, S.Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    "Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation"
    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
  119. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa,
    "Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering"
    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
  120. 柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
    「励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討」
    第58回光波センシング技術研究会
  121. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
    電子情報通信学会 超音波研究会 (2016).
  122. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ」
    電子情報通信学会 超音波研究会 (2016).
  123. 森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
    「PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子」
    第45回EMシンポジウム(2016).
  124. 【2015年発表】

  125. 寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄,
    「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.23-26, (2015).
  126. 趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美
    「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.27-30, (2015).
  127. 柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美,
    「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.37-42, (2015).
  128. 岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美,
    「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.31-35, (2015).
  129. 日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、
    「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.19-24, (2015).
  130. 高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen,Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod,
    「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.25-30, (2015).
  131. 富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美
    「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no02, pp.23-28, (2015).
  132. 松川 沙弥果、森 駿貴、フォタネル エロディー、眞野 功、水野 勝紀、柳谷 隆彦、高柳 真司、松川 真美、
    「皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討」
    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  133. 高田 千裕、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美
    「H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数」
    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  134. 寺田 浩士朗、西川 宏明、田中 陽、小田川 裕之、柳谷 隆彦、長 康雄
    「走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定」 
    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  135. 森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦 
    「Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ 」
          第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  136. 鈴木 雅視、柳谷 隆彦
    「c 軸傾斜 ScxAl-xN 薄膜(0<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
  137. 岡 峰生、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美
    「IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用」
    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  138. 高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    「スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  139. 森剛志,鈴木雅視,柳谷隆彦
    通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  140. 森剛志,鈴木雅視,柳谷隆彦
    「イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  141. 高田千裕,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    「RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  142. 高柳真司,岡峰生,松川真美,柳谷隆彦
    「c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  143. 富田昇太,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    「Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  144. 日山彰子,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    「c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定」
    圧電材料・デバイスシンポジウム2016
  145. 松川 沙弥果,森 駿貴,眞野 功、水野 勝紀, 柳谷 隆彦,高柳 真司,松川 真美
    「MHz 域における皮質骨の逆圧電効果」 
    日本音響学会2016年春季研究発表会
  146. 14a-2K-7森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦
    「Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会
  147. 14p-PB11-6] 鈴木 雅視、柳谷 隆彦
    「斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会
  148. 14p-4E-1森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦
    「イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会
  149. 15a-PA3-8川部 昌彦、柳谷 隆彦、市橋 隼人、高柳 真司、鈴木 雅視、松川 真美
    「Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会
  150. 高柳真司,柳谷隆彦,Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod
    (EM44-2-03) 「スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用」
    第44回EMシンポジウム
  151. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    (EM44-2-05) 「c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性」
    第44回EMシンポジウム
  152. 市橋隼人、柳谷隆彦、高柳真司、川部昌彦、松川真美
    180º,90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定
    第62回応用物理学会春季学術講演会
    2015年03月12日
  153. 高田千裕、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美
    RFマグネトロンスパッタ法におけるZnOターゲット温度がc軸平行配向ZnO膜の形成に及ぼす影響 
    第62回応用物理学会春季学術講演会
    2015年03月12日
  154. 橋本亮介、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美
    RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の形成 
    第62回応用物理学会春季学術講演会
    2015年03月12日
  155. 常田裕子,松川沙弥果,真野功,水野勝紀,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美
    超音波照射による骨中誘発電位の極性について
    圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    2015年02月18日
  156. 小林勇太,鈴木雅視,柳谷隆彦,荒川元孝,大橋雄二
    基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較
    圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    2015年02月18日
  157. 小田川裕之,寺田浩士朗,西川宏明,柳谷隆彦,長康雄
    走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価
    圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    2015年02月18日
  158. 柳谷隆彦,市橋隼人,鈴木雅視,高柳真司,松川真美
    ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性
    圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    2015年02月18日
  159. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR
    圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    2015年02月18日 
  160. 【2014年発表】

  161. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成
    第61 回応用物理学会春季学術講演会
    2014年03月17日
  162. 片田 克吉,鈴木雅視,柳谷隆彦,和佐清孝
    エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振
    日本音響学会春季研究発表会
    2014年03月10日
  163. 柳谷隆彦
    圧電効果を利用した導電率計測技術
    研究集会「地震学をとりまく固体地球物理学」
    2014年02月01日
  164. 柳谷隆彦,片田克吉,鈴木雅視,和佐清孝
    エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  165. 片田克吉,柳谷隆彦,鈴木雅視,和佐清孝
    PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  166. 鈴木雅視,片田克吉,柳谷隆彦
    c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  167. 市橋隼人,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美
    音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  168. 和佐清孝,松嶋朝明,足立秀明,松永利之,柳谷隆彦,山本孝
    Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  169. 常田裕子,都築温実,水野勝紀,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美
    超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  170. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美 
    極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  171. 橋本亮介,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美
    RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の配向制御
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  172. 加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,日山彰子,横山晋哉,松川真美
    c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用
    圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    2014年01月29日
  173. Takahiko Yanagitani, Katsuyoshi Katada, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa
    Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  174. Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Masahiko Kawabe, Mami Matsukawa
    > Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  175. Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
    Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  176. Hiroko Tsuneda, Sayaka Matsukawa, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  177. Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  178. Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
    Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias
    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2014年12月03日
  179. 片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝
    PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子 
    電子情報通信学会 超音波研究会
    2014年10月22日
  180. 柳谷隆彦,鈴木雅視
    イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用
    EMシンポジウム2014
    2014年06月05日
  181. 高柳真司,柳谷隆彦,松川 真美
    極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
    EMシンポジウム2014
    2014年06月05日
  182. 【2013年発表】

  183. 鈴木雅視、柳谷隆彦
    c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by ion-beam assisted deposition
    第23回日本MRS年次大会
    2013年12月10日
  184. 高柳真司 柳谷隆彦 松川真美
    c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2013年11月20日
  185. 市橋隼人 柳谷隆彦 高柳真司 川部昌彦 松川真美
    Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定
    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2013年11月20日
  186. 鈴木雅視 柳谷隆彦
    ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数
    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2013年11月20日
  187. 柳谷隆彦 鈴木雅視 和佐清孝
    GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察
    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2013年11月20日
  188. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
    第74回応用物理学会秋季学術講演会
    2013年09月19日
  189. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成 
    第60回応用物理学会春季学術講演会
    2013年03月29日
  190. 鈴木雅視,伊藤一也,柳谷隆彦 
    希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性
    第60回応用物理学会春季学術講演会 
    2013年03月27日
  191. 柳谷隆彦,鈴木雅視,和佐清孝
    PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  192. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  193. 伊藤一也,鈴木雅視,柳谷隆彦
    希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  194. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美
    厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
    第74回応用物理学会秋季学術講演会
    2013年09月17日
  195. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美, 
    超音波照射による骨の誘発電位
    平成25年度第2回アコースティックイメージング研究会 
    2013年08月00日
  196. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    MHz域の超音波照射による骨の誘発電位
    第33回日本骨形態計測学会
    2013年07月00日
  197. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    超音波骨トランスデューサの受波感度の検討
    日本音響学会2013年春季研究発表会
    2013年03月00日
  198. 高柳 真司,柳谷隆彦,松川 真美
    RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  199. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美
    RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御 
    第60回応用物理学会春季学術講演会
    2013年03月29日
  200. 市橋隼人,杉本剛士,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美
    Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定
    第60回応用物理学会春季学術講演会
    2013年03月29日
  201. 加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,今村功祐,松川真美
    c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合 
    第60回応用物理学会春季学術講演会 
    2013年03月29日
  202. 生駒遼,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,小田川裕之,松川真美
    c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子
    第60回応用物理学会春季学術講演会
    2013年03月29日
  203. 今村功祐,柳谷隆彦,加藤善也,松川真美
    IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
    第60回応用物理学会春季学術講演会
    2013年03月29日
  204. 生駒遼1,柳谷隆彦2,高柳真司1,鈴木雅視2,小田川裕之3,松川真美
    c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  205. 橋本亮介,柳谷隆彦,今村功祐,生駒遼,高柳真司,松川真美
    高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  206. 加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,今村功佑,松川真美
    c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  207. 吉田憲司,柳谷隆彦,川本貴之,佐々木昌,大場正利,加藤善也,高柳真司,渡辺好章
    c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  208. 今村功祐,柳谷隆彦,加藤善也,松川真美
    IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
    圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    2013年01月23日
  209. 【2012年発表】

  210. 鈴木雅視,柳谷隆彦,小田川裕之
    Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子
    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2012年11月15日
  211. 伊藤 一也,鈴木 雅視,柳谷隆彦
    巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜
    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2012年11月15日
  212. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子
    日本音響学会2012年秋季研究発表会
    2012年09月20日
  213. 鈴木雅視,柳谷隆彦,小田川裕之
    イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現
    第73回応用物理学会学術講演会
    2012年09月13日
  214. 柳谷隆彦,菅沼信広,鈴木雅視 
    Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製
    応用物理学関係連合講演会
    2012年03月18日
  215. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子
    日本音響学会2012年春季研究発表会
    2012年03月13日
  216. 高柳 真司,柳谷隆彦,今村 功祐,生駒 遼,杉本 剛士,松川 真美
    c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2012年11月15日
  217. 生駒 遼 柳谷隆彦 高柳 真司 鈴木 雅視 小田川 裕之 松川 真美
    c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御
    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2012年11月15日
  218. 沖野 正裕 水野 勝紀 柳谷隆彦3 クテル サビーヌ 松川 真美
    MHz域における骨の電気機械変換特性
    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2012年11月15日
  219. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美
    RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
    第73回応用物理学会学術講演会
    2012年09月14日
  220. 生駒遼,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,小田川裕之
    RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御
    第73回応用物理学会学術講演会
    2012年09月14日
  221. 柳谷隆彦
    圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振
    スマート・アクチュエータ/センサ委員会定例会
    2012年07月27日
  222. 鈴木雅視,柳谷隆彦 
    イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成
    応用物理学関係連合講演会
    2012年03月17日
  223. 高柳真司1,柳谷隆彦2,松川真美1,渡辺好章1 
    マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
    応用物理学関係連合講演会
    2012年03月17日
  224. 中東佑太1,柳谷隆彦2,松川真美1,渡辺好章1 
    c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定
    応用物理学関係連合講演会
    2012年03月17日
  225. 菅沼信広,鈴木雅視,柳谷隆彦
    Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-
    圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    2012年01月30日
  226. 澤崎守1,川本貴之2,1,森嘉一2,柳谷隆彦3,吉田憲司1,加藤善也1,高柳真司1,佐々木昌2,大場正利2,松川真美1,渡辺好章1
    c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子による液体の粘性評価
    圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    2012年01月30日
  227. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
    圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    2012年01月30日
  228. 鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦,小田川裕之
    (0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子
    圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    2012年01月30日
  229. 【2011年発表】

  230. 鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦
    IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子
    第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2011年11月09日
  231. 菅沼信広,鈴木雅視,柳谷隆彦
    Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数
    第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2011年11月09日
  232. 鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦
    IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
    電子情報通信学会超音波研究会
    2011年09月27日
  233. 中東佑太・柳谷隆彦・松川真美・渡辺好章
    c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
    電子情報通信学会超音波研究会
    2011年09月26日
  234. 杉本剛士・佐野広幸・柳谷隆彦・高柳真司・松川真美
    ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定
    電子情報通信学会超音波研究会 
    2011年07月28日
  235. 杉本剛士,佐野広幸,中東佑太,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美
    曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱
    日本音響学会春季研究発表会
    2011年03月09日
  236. 中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
    c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討
    圧電材料・デバイスシンポジウム2011
    2011年02月01日
  237. 鈴木雅視, 柳谷隆彦
    c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子
    圧電材料・デバイスシンポジウム2011
    2011年01月31日
  238. 【2010年発表】

  239. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
    c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering
    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2010年12月08日
  240. 中辻 知宏 山本 和史 山下 圭祐1 柳谷隆彦 松川 真美1 山崎 薫 松山 幸弘 
    Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -
    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2010年12月08日
  241. Takahiko Yanagitani, Arakawa Kazuki, Suzuki Masashi, Kano Kazuhiko, Akihiko
    Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films
    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2010年12月08日
  242. H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, N. Ohtori
    Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2010年12月06日
  243. 鈴木 雅視 柳谷隆彦
    In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering
    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
    2010年12月06日
  244. 柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人
    c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
    電子情報通信学会 超音波研究会
    2010年10月14日
  245. 佐野広幸,柳谷隆彦,高柳真司、松川真美
    Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測
    電子情報通信学会超音波研究会
    2010年09月30日
  246. 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~
    電子情報通信学会超音波研究会
    2010年09月30日
  247. 中辻知宏・山本和史・高柳真司・柳谷隆彦・松川真美・山崎薫)
    ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~
    電子情報通信学会超音波研究会
    2010年09月30日
  248. 柳谷隆彦、秋山守人
    c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
    日本音響学会秋季研究発表会
    2010年09月15日
  249. 佐野広幸,柳谷隆彦,松川真美
    Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価
    日本音響学会秋季研究発表会
    2010年09月14日
  250. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
    第57回 応用物理学関係連合講演会
    2010年03月17日
  251. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性
    日本音響学会春季研究発表会
    2010年03月08日
  252. 柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美
    Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価
    日本音響学会春季研究発表会
    2010年03月01日
  253. 鈴木雅視,柳谷隆彦
    傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響
    圧電材料・デバイスシンポジウム2010
    2010年02月01日
  254. 高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
    圧電材料・デバイスシンポジウム2010
    2010年02月01日
  255. 【2009年発表】

  256. Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films
    鈴木雅視,柳谷隆彦
    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2009年11月18日
  257. 柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美
    Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method
    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
    2009年11月18日
  258. 川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利
    Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion
    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
    2009年11月18日
  259. 守里直希,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
    2009年11月18日
  260. 山本 和史,大和 雄,山崎 薫,長野 昭、矢追 佑一郎,中辻 智宏,松川 真美、柳谷隆彦
    ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向
    日本整形外科学会基礎学術集会
    2009年11月05日
  261. 柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美
    Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討
    電子情報通信学会超音波研究会
    2009年09月22日
  262. 守里直希・高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
    電子情報通信学会超音波研究会
    2009年09月22日
  263. 川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利
    直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
    電子情報通信学会超音波研究会
    2009年09月22日
  264. 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
    ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響
    電子情報通信学会超音波研究会
    2009年06月00日
  265. 大和雄  山崎薫 長野昭 松川真美  矢追佑一郎 中辻智宏 柳谷隆彦
    ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性
    日本骨形態計測学会
    2009年05月30日
  266. 柳谷隆彦,吉田泰祐,佐野広幸,松川真美
    Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価
    第56回応用物理学関係連合講演会
    2009年03月30日
  267. 【2008年以前発表】

  268. Yuichiro Yaoi, Kazufumi Yamamoto1, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
    Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics 
    2008年11月11日
  269. Taisuke Yoshida, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering
    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2008年11月11日
  270. Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi
    Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films
    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2008年11月11日
  271. 柳谷隆彦,木内正人,松川真美
    (11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子
    第69回応用物理学会学術講演会
    2008年09月05日
  272. 吉田泰祐,坂本雅則,柳谷隆彦,松川真美
    Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価
    圧電材料・デバイスシンポジウム2008
    2008年01月25日 
  273. 山崎薫,大和雄,山本和史,長野昭,松川真美、矢追祐一郎,柳谷隆彦
    超音波による骨質の評価
    第9回日本骨粗鬆症学会
    2007年11月14日
  274. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe
    Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures
    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2007年11月13日
  275. 柳谷隆彦,木内正人
    Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation
    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2007年11月13日
  276. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe
    A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves
    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
    2007年11月13日
  277. 田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    (11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
    電子情報通信学会超音波研究会
    2007年09月28日
  278. 松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ
    第68回応用物学会学術講演会
    2007年09月28日
  279. 松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ
    日本音響学会秋季研究発表会
    2007年09月20日
  280. 田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    (11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性 
    第68回応用物学会学術講演会
    2007年09月04日
  281. 吉田 泰祐,村田 茂雄,松川 真美,柳谷隆彦
    Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測
    日本音響学会春季研究発表会
    2007年03月13日
  282. 田中 厚志,松川 真美,渡辺 好章,柳谷隆彦
    面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性
    日本音響学会春季研究発表会
    2007年03月13日
  283. 田中厚志、松川真美、渡辺好章, 柳谷隆彦
    (11-20)ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性
    圧電材料・デバイスシンポジウム2007
    2007年01月30日
  284. 柳谷隆彦、木内正人
    イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討
    圧電材料・デバイスシンポジウム2007 
    2007年01月30日
  285. 松尾卓也、松川真美、渡辺好章,柳谷隆彦
    c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用
    圧電材料・デバイスシンポジウム2007
    2007年01月29日 
  286. 柳谷隆彦,木内正人
    横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製
    表面技術フォーラム
    2006年12月07日
  287. Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe, Takahiko Yanagitani
    Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films
    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2006年11月15日
  288. Shigeo Murata‡, Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani
    Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
    2006年11月15日
  289. Yu Yamato† (Hamamatsu, Hirofumi Mizukawa, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
    Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone
    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
    2006年11月15日
  290. Takahiko Yanagitani‡, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
    Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films
    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
    2006年11月15日
  291. 松尾 卓也,田中 厚志,松川 真美,渡辺 好章,柳谷隆彦
    c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性
    日本音響学会秋季研究発表会
    2006年09月13日
  292. ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性
    水川 裕文,松川 真美,柳谷隆彦,大和 雄,山崎 薫,長野 昭
    日本音響学会春季研究発表会
    2006年03月14日
  293. 柳谷隆彦,松川 真美,渡辺 好章
    面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性
    日本音響学会春季研究発表会 
    2006年03月14日
  294. 川本貴之、三島夏樹、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用
    圧電材料・デバイスシンポジウム2006
    2006年02月00日 
  295. 大和雄、松川真美,柳谷隆彦,水川裕文、山崎薫、大谷隆彦、長野昭
    牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向
    第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2005年11月00日
  296. 宮本善則,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討
    日本音響学会秋季研究発表会
    2005年09月00日
  297. 川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討
    日本音響学会秋季研究発表会
    2005年09月00日
  298. 三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価
    日本音響学会秋季研究発表会
    2005年09月00日
  299. 三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章
    面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用
    電子情報通信学会超音波研究会
    2005年09月00日
  300. 柳谷隆彦,三島夏樹,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO膜の圧電性
    第34回EMシンポジウム
    2005年05月00日
  301. 村田茂雄,大和哲郎,新谷和明,柳谷隆彦,松川真美
    顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価
    日本音響学会春季研究発表会
    2005年03月00日
  302. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    (11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減
    圧電材料・デバイスシンポジウム2005
    2005年02月00日
  303. 野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性
    圧電材料・デバイスシンポジウム2005
    2005年02月00日 
  304. 柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
    電気関係学会関西支部連合大会
    2004年11月00日
  305. 新谷和明,柳谷隆彦,松川真美,大谷隆彦
    顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価
    第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2004年10月00日
  306. 柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価
    第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2004年10月00日
  307. 宮本善則,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討
    日本音響学会秋季研究発表会
    2004年09月00日
  308. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
    日本音響学会春季研究発表会
    2004年03月00日
  309. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    (11-20)面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製
    圧電材料・デバイスシンポジウム2004
    2004年01月00日 
  310. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討
    第24回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    2003年11月00日
  311. 柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発
    電子情報通信学会超音波研究会
    2003年09月00日
  312. 野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦
    ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討
    日本音響学会秋季研究発表会
    2003年09月00日
  313. 柳谷隆彦,松川真美,大谷隆彦,三原敏行
    金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性
    日本音響学会2003年春季研究発表会
    2003年03月00日